橢圓偏振儀是一種用于探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的光學測量設備。由于并不與樣品接觸，對樣品沒有破壞且不需要真空。可測的材料包括：半導體、電介質、聚合物、有機物、金屬、多層膜物質。可以應用于半導體、通訊、數據存儲、光學鍍膜、平板顯示器、科研、生物、醫藥等領域。
主要功能：
測量樣品的偏振參量信息等，可用于在線監測，也可用于離線的樣品測試；可使用不同大小的光斑探測樣品。
1、調整分光計；
2、調共軸（注意：用校光片，先不放檢偏器調，可以用白紙防在望遠鏡的目鏡處看光點是否在中央;然后放上檢偏器再調，注意令水平盤的О對準游標的0）；
3、定檢偏器的位置（望遠鏡轉66°，加黑色反光板，檢偏器90°向上，使探測器光強達到小，整體轉檢偏器合適后固定）；
4、定起偏器的位置（望遠鏡轉回到與平行光管對正，起偏器О°向上，空載物臺，整體轉起偏器達到光強小后固定）；
5、安裝1/4波片，定1/4波片的0位（只轉波片，不要轉手動輪，使光強達到小）；
6、望遠鏡轉40°，放樣品；
7、將1/4波片的手動輪轉+45°和-45°，輪流轉檢偏器和起偏器達到光強讀數小，開始讀取分光計的讀數。
注意事項：
1、個實驗過程中不得旋動平行光管，以保證入射面不改變，否則會改變S，Р坐標軸的方位而使起偏器零點的位置發生改變。
2、整個實驗過程中，特別是轉動望遠鏡時，不得調節望遠鏡鏡筒的高低。
